[发明专利]图像生成装置、缺陷检查装置以及缺陷检查方法

摘要

本发明的缺陷检查装置(100)中设置有传输部(11)，传输薄片状成形体；光照射部(12)，向薄片状成形体照射光；摄像部(13)，通过摄像动作生成二维图像数据；边界提取部(1411)，提取由各二维图像数据表示的各二维图像内的明部与暗部的边界线部；重新提取部(1412)，连接通过边界提取部(1411)提取出的边界线部后看作表观边界线，对该表观边界线进行平滑化，以使去除出现在该表观边界线中的尖锐的峰，从二维图像数据中提取平滑化之后得到的构成原来的边界线的像素；和合成部(1413)，生成由重新提取部(1412)所提取的像素构成的一维图像数据，同样地合成根据多个二维图像数据得到的多个一维图像数据来生成检查用图像数据。

主权项

一种图像生成装置，生成用于检查薄片状成形体的缺陷的图像数据，具备：传输部，在薄片状成形体的长边方向上传输该薄片状成形体；光照射部，具备在薄片状成形体的宽度方向上直线状延伸的光源，通过该光源向薄片状成形体照射光；摄像部，对传输中的所述薄片状成形体进行摄像动作来生成表示二维图像的二维图像数据，该摄像部在该二维图像内包括与所述光源对应的明部和亮度比该明部低的暗部的位置处对薄片状成形体进行多次摄像动作；和检查用图像数据生成部，根据由所述摄像部生成的多个二维图像数据生成检查用图像数据，所述检查用图像数据生成部包括：边界提取部，提取由各二维图像数据所表示的各二维图像内的所述明部与所述暗部的边界线部；重新提取部，连接所述边界线部后看作表观边界线，对该表观边界线进行平滑化以使去除出现在该表观边界线中的尖锐的峰，从二维图像数据中提取平滑化之后得到的构成原来的边界线的像素；和合成部，生成由所述重新提取部所提取的像素构成的一维图像数据，同样地合成根据多个二维图像数据得到的多个一维图像数据来生成检查用图像数据。