[发明专利]流体控制阀有效
| 申请号： | 201480005162.2 | 申请日： | 2014-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN104919230B | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | P·D·卢卡斯;G·希尔;J·W·皮塞拉 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | F16K3/04 | 分类号： | F16K3/04;F16K31/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈珊;刘兴鹏 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种阀组件包括：阀体，其包括通道，第一气体可通过所述通道传送通过阀组件；阀流量控制元件，其可相对于所述阀体在打开位置和关闭位置之间移动，其中在打开位置通过所述通道的流量处于最大流量，其中在关闭位置通过所述通道的流量处于最小流量，阀流量控制元件被成形以使在阀体和阀流量控制元件之间提供第一气体可流动通过的控制间隙，并且控制间隙的尺寸根据阀流量控制元件相对于所述阀体的位置而变化；以及气体喷射器装置，其用于当阀组件用于控制通过通道的第一气体的流量时选择性地将第二气体喷射到控制间隙内。当阀流量控制元件在或接近其关闭位置时所述第二气体的喷射有助于使沉积在阀流量控制元件上的冷凝最小化及降低阀的关闭流导。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 控制 | ||
【主权项】：
一种阀组件，包括：阀体，其包括通道，第一气体能够通过所述通道传送通过所述阀组件；阀流量控制元件，其能够相对于所述阀体在打开位置和关闭位置之间移动，其中在打开位置通过所述通道的流量处于最大流量，其中在关闭位置通过所述通道的流量处于最小流量，所述阀流量控制元件被成形以使得在所述阀体和所述阀流量控制元件之间提供控制间隙，第一气体能够流动通过所述控制间隙，并且所述控制间隙的尺寸根据所述阀流量控制元件相对于所述阀体的位置而变化；以及气体喷射器装置，其用于当所述阀组件用于控制通过所述通道的所述第一气体的流量时将第二气体选择性地喷射到所述控制间隙内；其中所述阀组件具有取决于所述阀流量控制元件相对于所述阀体的位置的阀流导，并且当所述阀流量控制元件在所述关闭位置或接近所述关闭位置时，所述气体喷射器装置将所述第二气体喷射到所述控制间隙内以降低所述阀的阀流导；以及其中气体喷射器装置包括在所述阀流量控制元件内的次级通道，用于将所述第二气体引导到所述控制间隙。
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