[发明专利]光学显微镜和显微术方法

摘要

本发明涉及一种具有样本平面的光学显微镜，待研究的样本能够定位在所述样本平面上，所述光学显微镜具有用于发出照明光线的光源、用于将照明光线导入样本平面中的光学成像器件和探测器装置，所述探测器装置具有多个探测器元件来检测来自样本的样本光线。在此，相邻的探测器元件彼此之间的距离小于样本平面的点在探测器装置上产生的埃里斑。按照本发明的光学显微镜的特征在于，设有带至少一个第一和第二光学装置的扫描装置，所述扫描装置的光学装置能够同时沿共同的方向运动，以便产生彼此方向相反的照明扫描运动和探测扫描运动，第一和第二光学装置分别具有多个并排布置的光学元件，通过所述光学元件能够同时研究相互间隔的样本区域，第一和第二光学装置布置为，使得从样本平面朝向探测器装置的样本光线的光路以及从光源朝向样本平面的照明光线的光路均经过第一光学装置并且这两条光路中只有一条经过第二光学装置，并且为了实现与照明扫描运动的方向相反的探测扫描运动的方向，能够通过扫描装置使样本光线非倒立地并且以小于1的成像比例成像。

主权项

一种光学显微镜，具有样本平面(40)，待研究的样本(41)能够定位在所述样本平面上，具有用于发出照明光线(15)的光源(10)，具有用于将照明光线(15)导入样本平面(40)中的光学成像器件(16、17、20、21、30)并且具有探测器装置(60)，所述探测器装置具有多个探测器元件(61‑64)来检测来自样本(41)的样本光线(45)，其中，相邻的探测器元件(63、64)彼此之间的距离小于样本平面(40)的点在探测器装置(60)上产生的埃里斑，其特征在于，设有带至少一个第一和第二光学装置(51、52)的扫描装置(50)，所述扫描装置(50)的光学装置(51、52)能够同时沿共同的方向运动，以便产生彼此方向相反的照明扫描运动(81)和探测扫描运动(82)，其中，照明扫描运动(81)是照明光线(15)在样本平面(40)上的扫描运动并且其中，作为探测扫描运动(82)，探测器元件(61‑64)的接收区域能够在样本平面(40)上运动，第一和第二光学装置(51、52)分别具有多个并排布置的光学元件(71、72)，通过所述光学元件能够同时研究相互间隔的样本区域，第一和第二光学装置(51、52)布置为，使得从样本平面(40)照向探测器装置(60)的样本光线(45)的光路以及从光源(10)照向样本平面(40)的照明光线(15)的光路均经过第一光学装置(51)并且这两条光路中只有一条经过第二光学装置(52)，并且为了实现与照明扫描运动(81)的方向相反的探测扫描运动(82)的方向，能够通过扫描装置(50)使样本光线(45)非倒立地并且以小于1的成像比例成像。