[发明专利]图像生成装置、缺陷检查装置以及缺陷检查方法有效
申请号: | 201480006156.9 | 申请日: | 2014-01-28 |
公开(公告)号: | CN104956210B | 公开(公告)日: | 2017-04-19 |
发明(设计)人: | 尾崎麻耶 | 申请(专利权)人: | 住友化学株式会社 |
主分类号: | G01N21/892 | 分类号: | G01N21/892;G01B11/30 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 葛凡 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的缺陷检查装置(100)的缺陷映像图像生成部(72)通过对处理图像生成部61生成的多个处理图像进行合成来生成缺陷映像图像。缺陷映像图像生成部(72)具有坐标值计算部(721)、累计部(722)以及亮度值设定部(723)。坐标值计算部(721)基于各处理图像的各像素的坐标值、薄片状成形体(2)的传输速度以及在摄像装置(5)中设定的帧频,计算出缺陷映像图像的各像素的坐标值。累计部(722)求出坐标值计算部(721)计算出了同一坐标值的像素内的缺陷像素的数量、该缺陷像素的灰度值的总计。亮度值设定部(723)根据累计部(722)的计算值,设定缺陷映像图像中的各像素的亮度值。 | ||
搜索关键词: | 图像 生成 装置 缺陷 检查 以及 方法 | ||
【主权项】:
一种图像生成装置,生成用于检查薄片状成形体的缺陷的图像,该图像生成装置具备:传输部,以预先确定的传输速度将薄片状成形体沿着其长边方向传输;光照射部,向被传输的所述薄片状成形体照射光;摄像部,与被传输的所述薄片状成形体的表面对置地配置该摄像部,以预先确定的时间间隔拍摄该薄片状成形体的表面的一部分来生成多个二维图像,该摄像部设定所述时间间隔以使通过连续的两次摄像动作所拍摄的摄像区域部分重叠;特征量计算部,通过预先确定的算法处理,基于各像素的亮度值来计算出构成各所述二维图像的各像素的特征量;处理图像数据生成部,将构成各所述二维图像的各像素区分为所述特征量在预先确定的阈值以上的缺陷像素和所述特征量小于所述阈值的剩余像素,与各二维图像对应地生成针对所述缺陷像素赋予与所述特征量相应的灰度值、且针对所述剩余像素赋予零的灰度值的处理图像;和缺陷映像图像生成部,通过对所述处理图像数据生成部生成的多个处理图像进行合成,生成表示薄片状成形体中的缺陷的分布的缺陷映像图像,其特征在于,该缺陷映像图像生成部具有:缺陷映像图像坐标值计算部,基于构成各处理图像的各像素的坐标值、所述传输速度以及所述时间间隔,计算出用于构成所述缺陷映像图像的各像素的坐标值;累计部,进行下述(1)或下述(2)中的任一方,或者进行下述(1)以及下述(2)这两方:(1)针对所述缺陷映像图像的各像素,计数处理图像中的对应的像素内的缺陷像素的数量;(2)针对所述缺陷映像图像的各像素,计算对处理图像中的对应的像素赋予的灰度值的总计;和亮度值设定部,将基于在所述(1)中得到的缺陷像素的数量和/或在所述(2)中得到的灰度值的总计计算出的值设定为所述缺陷映像图像的各像素的亮度值,从而生成缺陷映像图像。
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