[发明专利]薄膜的成膜方法和成膜装置有效
| 申请号： | 201480007385.2 | 申请日： | 2014-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN105377451B | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 佐守真悟;高濑慎一;菅原聪;长江亦周;姜友松 | 申请（专利权）人： | 株式会社新柯隆 |
| 主分类号： | B05D3/00 | 分类号： | B05D3/00;B05C9/10 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 庞东成,褚瑶杨 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种以低成本成膜出具备耐久性的薄膜的方法。该成膜方法使用成膜装置(1)。该装置(1)包括基板(100)配置于内部下方的真空容器(11)、对该容器(11)内进行排气的真空泵(15)、设置于容器(11)外部且储藏成膜剂溶液(21)的储藏容器(23)、一端具有成为可排出成膜剂溶液(21)的排出部(19)的喷嘴(17)。使用含有2种以上材料的溶液作为成膜剂溶液(21)。将该成膜剂溶液(21)在基于构成该溶液的各材料的蒸汽压而设定的压力的气氛下排出至基板上。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种成膜方法，其是在真空中于基板上形成薄膜的成膜方法，其中，对于含有包括第1材料S1和具有高于该S1的蒸汽压P1的蒸汽压P2的第2材料S2的2种以上材料的溶液，在P1以下但不比P1低一个数量级以上的压力的气氛下排出所述溶液，所述溶液到达所述基板后，使该溶液中的溶剂成分蒸发，使残留的溶质成分堆积在所述基板上，形成所述薄膜，所述P1的单位为Pa。
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