[发明专利]具有膜片结构的微机械构件有效
| 申请号： | 201480007570.1 | 申请日： | 2014-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN104968599B | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | J·策尔兰;C·舍林 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 曾立 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提出一种用于实现具有尽可能无应力的膜片结构的微机械构件的方案，所述膜片结构具有边缘锚固部，所述方案可以成本有利地借助半导体工艺的标准方法实现。因此，以层结构在衬底(1)上实现所述微机械构件(100)的膜片结构，其中，所述膜片结构包括膜片(11)，所述膜片通过至少一个弹性元件(12)集成到所述层结构中，其中所述膜片(11)跨越空穴(16)，使得所述膜片边缘的至少一个区段延伸到所述空穴(16)的边缘区域上，其中在膜片(11)和空穴边缘区域之间的重叠区域中构造至少一个锚固结构。根据本发明，锚固结构包括至少一个锚固元件(21)和用于所述锚固元件(21)的贯通开口(20)，其中所述锚固元件(21)由层结构在空穴边缘区域上结构化出，而用于所述锚固元件(21)的贯通开口(20)构造在所述膜片(11)的边缘区域中，使得在锚固元件(21)和贯通开口(20)之间存在空隙，所述空隙能够实现所述膜片(11)的机械应力松弛。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 膜片 结构 微机 构件 | ||
【主权项】：
一种微机械构件(100)，其具有膜片结构，所述膜片结构以层结构实现在衬底(1)上，其中，所述膜片结构包括膜片(11)，所述膜片通过至少一个弹性元件(12)集成到所述层结构中；其中，所述膜片(11)跨越空穴(16)，以便所述膜片边缘的至少一个区段延伸到所述空穴(16)的边缘区域上；其中，在膜片(11)和空穴边缘区域之间的重叠区域中构造至少一个锚固结构，其特征在于，所述锚固结构包括至少一个锚固元件(21)和用于所述锚固元件(21)的贯通开口(20)，其中，所述锚固元件(21)由层结构在所述空穴边缘区域上结构化出，而用于所述锚固元件(21)的贯通开口(20)构造在所述膜片(11)的边缘区域中，使得在锚固元件(21)和贯通开口(20)之间存在空隙，所述空隙能够实现所述膜片(11)的机械应力松弛。
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