[发明专利]低电压MEMS快门组合件有效
| 申请号： | 201480007653.0 | 申请日： | 2014-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN105102371A | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 哈维尔·维拉里尔;蒂莫西·J·布罗斯尼汉;贾斯珀·洛德维克·斯泰恩;理查德·S·佩恩;斯蒂芬·R·刘易斯 | 申请（专利权）人： | 皮克斯特隆尼斯有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G02B26/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供用于快门组合件的相对较薄且不太硬的顺应性梁的系统、方法及设备。在将所述快门组合件从牺牲模具释放之前在所述快门组合件之上沉积保护涂层并图案化所述保护涂层，所述快门组合件形成于所述牺牲模具之上。因为所述顺应性梁的一些主要表面接触所述牺牲模具，所以这些主要表面并未涂布有所述保护涂层。因此，当最后释放所述快门组合件时，所述所得顺应性梁相对较薄且不太硬，从而提供用以操作所述快门组合件的致动电压的减小。在一些情况下，在释放之前将所述保护涂层图案化成不连续片段。 | ||
| 搜索关键词： | 电压 mems 快门 组合 | ||
【主权项】：
一种设备，其包括：静电致动组合件，其用于控制显示元件的悬置部分的位置，所述静电致动组合件包含：两个悬置对置梁，包含用于支撑所述悬置部分的第一梁及与所述第一梁对置的第二梁，所述两个悬置对置梁中的每一者具有两个主要表面，且一起形成静电致动器；以及保护涂层，其安置在所述两个悬置对置梁中的至少一者的仅一个主要表面的数部分之上，其中所述保护涂层经图案化以形成多个凸起片段。
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