[发明专利]密封装置

摘要

密封装置具有向密封部输送热介质的介质路径部，介质路径部具有：加热介质路径部，用于向流通部输送加热介质，来加热压力接触部；冷却介质路径部，用于向流通部输送冷却介质，来冷却压力接触部；路径切换部，在加热介质路径部与流通部之间连通的状态和冷却介质路径部与流通部之间连通的状态之间进行切换。

主权项

1.一种密封装置，其特征在于，具有：一对密封部，各自具有夹持对象物并对该对象物进行压力接触的压力接触部，以及介质路径部，向所述一对密封部中的至少一个密封部输送介质；所述至少一个密封部具有流通部，使介质在该流通部中流通，来在所述压力接触部与介质之间进行热交换，所述介质路径部具有：加热介质路径部，用于向所述流通部输送加热介质，来加热所述至少一个密封部的所述压力接触部，冷却介质路径部，用于向所述流通部输送作为液体的冷却介质，来冷却所述至少一个密封部的所述压力接触部，路径切换部，在所述加热介质路径部与所述流通部之间连通的状态和所述冷却介质路径部与所述流通部之间连通的状态之间进行切换，以及压缩气体路径部，用于向所述流通部输送压缩气体；为了冷却所述压力接触部，所述路径切换部进行切换，使得向所述流通部输送冷却介质，并且同步地向所述流通部输送压缩气体，然后为了从所述流通部排除所述冷却介质，所述路径切换部进行切换，使得停止向所述流通部输送所述冷却介质而仅输送所述压缩气体。