[发明专利]用于前级管线等离子体减量系统的气体套管

摘要

本文提供用于保护基板处理系统的前级管线的内壁的方法和设备。在一些实施方式中，用于在基板处理系统的前级管线中处理废气的设备包括气体套管发生器，所述气体套管发生器包括主体，所述主体具有设置成穿过所述主体的中心开口；气室，所述气室设置在所述主体内并且围绕所述中心开口；入口，所述入口耦接至所述气室；和环状体，所述环状体在第一端耦接至所述气室并且在与所述第一端相对的第二端处形成环形出口，其中所述环形出口与所述中心开口同心并且通向所述中心开口。所述气体套管发生器可以设置在前级管线等离子体减量系统的上游，以提供气体套管至基板处理系统的前级管线。

主权项

一种用于在基板处理系统的前级管线中处理废气的设备，所述设备包括：气体套管发生器，所述气体套管发生器包括主体，所述主体具有设置成穿过所述主体的中心开口；气室，所述气室设置在所述主体内并且围绕所述中心开口；入口，所述入口耦接至所述气室；和环状体，所述环状体在第一端耦接至所述气室并且在与所述第一端相对的第二端处形成环形出口，其中所述环形出口与所述中心开口同心并且通向所述中心开口。