[发明专利]ZnO‑Al2O3‑MgO溅射靶及其制备方法

摘要

已知通过以下步骤制备由ZnO‑Al2O3‑MgO(ZAMO)构成的晶体材料干法混合原料组分的粉末，所述原料组分包含Al2O3、ZnO和MgO，或者这些物质的前体；以及烧结所得粉末混合物，从而获得溅射靶。本发明的目的是提供一种具有3N质量或更好质量的高纯度靶，所述靶不包含或者仅包含少量的由Al2O3和MgO构成的单相。为此，已提出所述混合步骤包括在液体中混合所述原料组分的粉末，从而所述原料粉末在所述液体中的最大溶解度小于200mg/kg，因此用于混合步骤的所述液体包括水，而且MgCO3粉末用作MgO的前体组分。所得ZAMO溅射靶的特征在于其具有这样的微观结构所述微观结构包含少于1重量％的由Al2O3或MgO中任意一者所构成的单组分氧化物相，因此该微观结构包含红锌矿、锌尖晶石(ZnAl2O4)和尖晶石(MgAl2O4)的单相区和二元相区。

主权项

一种用于制造ZnO‑Al2O3‑MgO溅射靶的方法，其包括以下步骤：混合原料组分的粉末，所述原料组分包含Al2O3、ZnO和MgO，或者这些物质的前体；以及烧结所得粉末混合物，从而获得所述溅射靶，所述混合步骤包括在液体中混合所述原料组分的粉末，其特征在于，所述原料粉末在所述液体中的最大溶解度小于200mg/kg，并且因此所述液体包括水，以及MgCO3粉末用作MgO的前体组分。