[发明专利]用于基板边缘清洁的方法和装置

摘要

一种基板清洁设备可包括：基板支撑件，该基板支撑件具有支撑表面，以支撑待清洁的基板，其中该基板支撑件可围绕垂直于支撑表面的中心轴旋转；第一喷嘴，当基板支撑件的支撑表面支撑该基板时，该第一喷嘴将第一清洁气体提供至内部空间的区域，该区域对应于基板的边缘的位置；第一环形主体，该第一环形主体设置于基板支撑件的支撑表面的相对面，且与该基板支撑件的支撑表面间隔开缝隙，该第一环形主体具有中央开口，该中央开口由内壁界定，该内壁经塑形以在径向向外的方向上于第一环形主体与支撑表面之间提供减小尺寸的缝隙；和第一气体入口，该第一气体入口将第一气体提供至第一环形主体的中央开口。

主权项

1.一种基板清洁设备，所述基板清洁设备包括：基板支撑件，所述基板支撑件具有支撑表面，以支撑待清洁的基板，其中所述基板支撑件可围绕垂直于所述支撑表面的中心轴旋转；第一喷嘴，当所述基板支撑件的所述支撑表面支撑所述基板时，所述第一喷嘴将第一清洁气体提供至一区域，所述区域对应于所述基板的远离所述中心轴的径向边缘的位置，其中当所述支撑表面支撑所述基板时，所述第一喷嘴被定位面对所述基板的所述径向边缘；第一环形主体，所述第一环形主体设置于所述基板支撑件的所述支撑表面的相对面，且与所述基板支撑件的所述支撑表面间隔开缝隙，所述第一环形主体具有中央开口，所述中央开口由所述第一环形主体的内壁界定，所述中央开口自远离所述支撑表面的所述第一环形主体的第一侧面延伸至邻近所述支撑表面的所述第一环形主体的第二侧面，其中邻近所述支撑表面的所述中央开口的尺寸经设置以暴露所述支撑表面的主要部分，且其中所述内壁经塑形以在径向向外的方向上于所述第一环形主体与所述支撑表面之间提供减少尺寸的所述缝隙；和第一气体入口，所述第一气体入口将第一气体提供至所述第一环形主体的所述中央开口。