[发明专利]研磨用组合物及研磨物制造方法有效
| 申请号： | 201480009943.9 | 申请日： | 2014-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN105073941B | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 土屋公亮;丹所久典 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇,李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种包含磨粒、水溶性聚合物和水的研磨用组合物。上述水溶性聚合物包含根据规定的吸附比测定得到的吸附比小于5％的聚合物A、和该吸附比为5％以上且小于95％的聚合物B。此处，上述聚合物B选自羟乙基纤维素以外的聚合物。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨用组合物，其包含磨粒、水溶性聚合物和水，作为所述水溶性聚合物，包含：根据以下的吸附比测定得到的吸附比小于5％的聚合物A、和根据所述吸附比测定得到的吸附比为5％以上且小于95％的聚合物B，此处，所述聚合物A为非离子性乙烯醇系聚合物或包含氧化烯单元的聚合物，所述聚合物B为包含氧化烯单元的聚合物或含有氮原子的聚合物，所述吸附比测定为：(1)准备试验液L0，其包含0.018质量％测定对象聚合物及0.01质量％氨，且剩余部分由水构成；(2)准备试验液L1，其包含0.18质量％浓度的所述磨粒、0.018质量％浓度的所述测定对象聚合物及0.01质量％浓度的氨，且剩余部分由水构成；(3)对所述试验液L1进行离心分离处理，使所述磨粒沉淀；(4)由所述试验液L0中包含的所述测定对象聚合物的质量W0和所述试验液L1的所述离心分离处理后的上清液中包含的所述测定对象聚合物的质量W1，通过下式算出所述测定对象聚合物的吸附比：吸附比(％)＝[(W0‑W1)/W0]×100。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福吉米株式会社，未经福吉米株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480009943.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
