[发明专利]表面特性检查装置、表面特性检查系统以及表面特性检查方法

摘要

本发明提供一种能够减小检查环境的温度变化的影响地高精度地检查实施过喷丸处理、热处理、氮化处理等表面处理的处理材料的表面处理状态并且能够应用于在线测量的表面特性检查装置、表面特性检查系统以及表面特性检查方法。表面特性检查装置(1)具备交流电源(10)、交流桥电路(20)以及评价装置(30)，交流桥电路(20)由分配比(γ)可变的可变电阻(21)、基准检测器(22)以及检查检测器(23)构成。检查检测器(23)具备卷绕成与被检体(M)的表面特性检查区域相向的线圈(23b)，通过对线圈(23b)供给来自交流电源(10)的交流电力而在被检体(M)中激发涡电流。由此，能够检测被检体(M)的电磁特性，根据来自交流桥电路(10)的输出信号来检查表面特性。

主权项

一种表面特性检查装置，用于检查实施过表面处理的被检体的表面特性，该表面特性检查装置的特征在于，具备：交流桥电路；交流电源，其向上述交流桥电路供给交流电力；以及评价装置，其根据来自上述交流桥电路的输出信号，对被检体的表面特性进行评价，其中，上述交流桥电路具有：可变电阻，其构成为在第一电阻和第二电阻之间分配比可变；检查检测器，其具备使交流磁场产生作用来在上述被检体中激发涡电流的线圈；以及基准检测器，其检测成为与来自上述检查检测器的输出进行比较的基准的基准状态，上述第一电阻、上述第二电阻、上述基准检测器以及上述检查检测器构成上述交流桥电路，上述评价装置根据在对上述交流桥电路供给交流电力而上述检查检测器检测出上述被检体的电磁特性且上述基准检测器检测出基准状态的状态下来自上述交流桥电路的输出信号，对上述被检体的表面特性进行评价。