[发明专利]具有实时健康监测和补偿的压力传感器

摘要

压力传感器可测量气体或液体压力。腔室可具有接收气体或液体的入口。柔性膜片可位于腔室内，所述柔性膜片具有在气体或液体流动通过入口之后暴露于气体或液体的表面。压力传感器系统可感测由气体或液体的压力变化所导致的柔性膜片的变化。压力不敏感传感器系统可感测柔性膜片中的不由气体或液体压力变化所导致的变化。压力不敏感传感器系统可对于柔性膜片中的由气体或液体压力变化所导致的变化不敏感。

主权项

用于测量气体或液体压力的压力传感器，包括：腔室，所述腔室具有接收气体或液体的入口；位于腔室内的柔性膜片，所述柔性膜片具有在气体或液体流动通过入口之后暴露于气体或液体的表面；压力传感器系统，所述压力传感器系统感测由气体或液体的压力变化所导致的柔性膜片的变化；以及压力不敏感传感器系统，所述压力不敏感传感器系统感测柔性膜片中的不由气体或液体的压力变化所导致的变化，并且所述压力不敏感传感器系统对于柔性膜片中的由气体或液体的压力变化所导致的变化不敏感；其中所述压力不敏感传感器系统包括：在所述柔性膜片上或所述柔性膜片内的不同压力敏感位置处的多个局部传感器；以及外推处理系统，根据所述多个局部传感器的输出，所述外推处理系统外推所述柔性膜片上或所述柔性膜片内的压力不敏感位置处的变化，所述压力不敏感位置经历变化但不响应于气体或液体的压力变化。