[发明专利]具有增强电容的金属-氧化物-金属(MOM)电容器有效
| 申请号： | 201480010663.X | 申请日： | 2014-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN105074916B | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | X·李;B·杨 | 申请（专利权）人： | 高通股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L27/07;H01L29/94;H01L49/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 李小芳 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种特定的金属‑氧化物‑金属(MOM)电容器器件包括耦合至基板的导电栅极材料。该MOM电容器器件进一步包括耦合至该导电栅极材料的第一金属结构。该MOM电容器器件进一步包括耦合至该基板且邻近第一金属结构的第二金属结构。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 增强 电容 金属 氧化物 mom 电容器 | ||
【主权项】：
1.一种金属‑氧化物‑金属(MOM)电容器器件，包括：耦合至基板的导电栅极材料；耦合至所述导电栅极材料的第一金属结构；以及耦合至所述基板并且邻近所述第一金属结构的第二金属结构，其中所述第二金属结构包括触点金属，其中所述触点金属包括至少一种不与所述导电栅极材料相同的材料，且其中所述第二金属结构藉由通孔结构耦合至较高金属结构。
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