[发明专利]光学镜、X射线荧光分析装置以及X射线荧光分析方法在审
| 申请号： | 201480011675.4 | 申请日： | 2014-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN105008905A | 公开（公告）日： | 2015-10-28 |
| 发明（设计）人： | V·勒西格 | 申请（专利权）人： | 赫尔穆特费舍尔股份有限公司电子及测量技术研究所 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223;G01B15/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 李隆涛 |
| 地址： | 德国辛*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于X射线荧光分析装置，包括X射线源(10)，用来利用X射束(19)辐照试样(15)；X射线探测器(17)，用于测量由所述试样(15)发出的X射线荧光辐射(16)；以及摄像机(25)，用于经由光学镜(20)产生试样(15)的被辐照的测量位置(29)的光学控制图像(26)，所述光学镜在所述X射线源(10)的射束路径中成角度地布置，所述光学镜包括载体(21)，在所述载体(21)上设置有镜层(28)。为了创建X射线荧光装置，由其真实控制记录待分析试样、尤其采用的表面点是可行的，本发明提供了光学镜(20)具有用于X射束(19)的通窗(23)，其由载体(21)中的开口(23)以及形成镜层(28)的膜(22)形成，所述膜在载体(21)的外表面上覆盖开口(23)。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 射线 荧光 分析 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种用于X射线荧光分析装置的光学镜，其中，所述X射线荧光分析装置具有X射线源(10)，用来利用X射束(19)辐照试样(15)；X射线探测器(17)，用于测量由所述试样发出的X射线荧光辐射(16)；以及摄像机(25)，用于经由所述光学镜(20)产生试样(15)的被辐照的测量位置(29)的光学控制图像(26)，所述光学镜在所述X射线源(10)的射束路径中成角度地布置，所述光学镜包括载体(21)，在所述载体(21)上设置有镜层(28)，其特征在于所述光学镜(20)具有用于X射束(19)的通窗(23)，其中所述通窗由所述载体(21)中的凹口(23)以及在所述载体(21)的外侧上覆盖所述凹口(23)的膜(22)形成，所述膜形成所述镜层(28)。
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