[发明专利]电光装置用基板、电光装置、电子设备及电光装置用基板的制造方法

摘要

本发明稳定形成适用于棱镜元件的具有陡峭的斜面的槽。本发明具备：以第1斜面(72a、72b)及第2斜面(73a、73b)从背面(6b)朝向表面(6a)的方式配置的基板本体(6)；覆盖第1斜面及第2斜面的第1绝缘膜(81)；第2槽部(75)，其具有覆盖上述第1斜面的上述第1绝缘膜(81)的表面即第3斜面(76a、76b)和覆盖上述第2斜面的上述第1绝缘膜(81)的表面即第4斜面(77a、77b)，沿着从上述背面(6b)侧朝向上述表面(6a)侧的方向变宽；和覆盖上述第2槽部(75)及上述第1绝缘膜(81)的第2绝缘膜(82)，第2绝缘膜(82)的覆盖上述第2槽部(75)的部分的一部分与上述第3斜面具有间隔，上述第2斜面配置于上述第1斜面的上述表面(6a)侧，上述第2斜面和上述法线所成的角度比上述第1斜面和上述法线所成的角度大。

主权项

一种电光装置用基板，其特征在于，具备：透射光的基板，其具有第1面和与上述第1面相向的第2面，第1斜面及第2斜面以从上述第1面朝向上述第2面的方式配置；覆盖上述第1斜面及上述第2斜面的第1绝缘膜；槽部，其具有覆盖上述第1斜面的上述第1绝缘膜的表面即第3斜面和覆盖上述第2斜面的上述第1绝缘膜的表面即第4斜面，沿着从上述第2面侧朝向上述第1面侧的方向变宽；以及覆盖上述槽部及上述第1绝缘膜的第2绝缘膜，上述第2绝缘膜的覆盖上述槽部的部分的一部分，与上述第3斜面具有间隔，上述第2斜面配置在上述第1斜面的上述第1面侧，上述第2斜面与上述第1面的法线所成的角度，比上述第1斜面与上述法线所成的角度大。