[发明专利]193NM激光器及检验系统

摘要

一种用于产生大约193.4nm的输出波长的激光器包含基波激光器、光学参数产生器、四次谐波产生器及混频模块。耦合到所述基波激光器的所述光学参数产生器可产生经下变频信号。可耦合到所述光学参数产生器或所述基波激光器的所述四次谐波产生器可产生四次谐波。耦合到所述光学参数产生器及所述四次谐波产生器的所述混频模块可产生处于等于所述四次谐波与所述经下变频信号的频率的两倍的和的频率的激光输出。

主权项

1.一种用于产生大约193.4nm的输出波长的激光器，所述激光器包括：基波激光器；光学参数产生器，其耦合到所述基波激光器，用于产生经下变频信号，从而在下变频过程中仅部分基波光被消耗；四次谐波产生器，其耦合到所述光学参数产生器，以使得所述基波光的未被消耗部分从所述光学参数产生器引导到所述四次谐波产生器，用于产生四次谐波；及混频模块，其耦合到所述光学参数产生器及所述四次谐波产生器，用于产生具有等于所述四次谐波与所述经下变频信号的频率的两倍的和的频率的激光输出，其中所述混频模块包括两个非线性晶体，第一非线性晶体经配置以通过第II型转换而产生等于所述四次谐波与经下变频信号的所述频率的和的频率，且第二非线性晶体经配置以通过第I型转换而产生等于所述四次谐波与所述经下变频信号的所述频率的所述两倍的所述和的所述频率。