[发明专利]金属-陶瓷板层压体的制造装置及制造方法、功率模块用基板的制造装置及制造方法

摘要

本发明提供一种防止经由接合材料层接合金属板与陶瓷板时的陶瓷板、接合材料及金属板的位置偏离并且能够高效地制造这些层压体的金属‑陶瓷板层压体的制造装置及制造方法，并且，提供一种将它们应用于功率模块用基板的功率模块用基板的制造装置及制造方法。一种金属‑陶瓷板层压体的制造装置，所述金属‑陶瓷板层压体在形成有接合材料层的陶瓷板上层压形成有临时固定材料的金属板，所述金属‑陶瓷板层压体的制造装置具备：输送构件(3)，将金属板(30)输送至陶瓷板(21)上，来层压陶瓷板(21)和金属板(30)；及加热构件(4)，设置在该输送构件(3)输送金属板(30)的输送路径的中途，并熔融金属板(30)的临时固定材料。

主权项

1.一种金属‑陶瓷板层压体的制造装置，其特征在于，所述金属‑陶瓷板层压体中，接合材料层形成于陶瓷板或金属板中的任意一板上，并且在这些陶瓷板与金属板中的任意一个板上预先涂布并固化以聚乙二醇作为主成分的临时固定材料而使所述临时固定材料附着在所述一个板上，通过所述临时固定材料并经由所述接合材料层以重叠的状态临时固定所述陶瓷板与所述金属板，从而层压所述陶瓷板与所述金属板，所述金属‑陶瓷板层压体的制造装置具备：输送构件，将所述一个板输送至所述陶瓷板与所述金属板中的任意另一个板上来层压所述陶瓷板与所述金属板；加热构件，设置在所述输送构件输送所述一个板的输送路径的中途，并熔融固化在该一个板上的临时固定材料；及冷却构件，在经由熔融状态的所述临时固定材料而层压所述陶瓷板与所述金属板之后的状态下，通过冷却并固化所述临时固定材料而临时固定所述陶瓷板与所述金属板，所述加热构件设置有加热器，所述输送构件通过使固化在所述一个板上的所述临时固定材料在所述输送路径的中途对置于所述加热器，从而使该临时固定材料熔融。