[发明专利]虚拟RF传感器有效
| 申请号： | 201480014768.2 | 申请日： | 2014-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN105103661B | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 亚伦·T·瑞多姆斯基;丹尼斯·M·布朗;尼古拉斯·纳尔逊 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05H1/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人： | 康泉,宋志强 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 射频(RF)产生系统包括接收RF电压和RF电流的阻抗确定模块。阻抗确定模块还基于RF电压和RF电流确定RF产生器阻抗。RF产生系统还包括基于RF产生器阻抗确定多个电气值的控制模块。RF产生系统还基于RF产生器阻抗和多个电气部件来匹配负载的阻抗。匹配模块也基于多个电气值来确定二端口传递函数。RF产生系统还包括基于RF电压、RF产生器、RF产生器阻抗和二端口传递函数来估计负载电压、负载电流和负载阻抗的虚拟传感器模块。 | ||
| 搜索关键词： | 虚拟 rf 传感器 | ||
【主权项】：
一种射频RF产生系统，包括：阻抗确定模块，接收RF电压和RF电流，并基于所述RF电压和所述RF电流确定RF产生器阻抗；控制模块，基于所述RF产生器阻抗确定多个电气值；匹配模块，所述匹配模块：基于所述RF产生器阻抗和所述多个电气值来匹配负载的阻抗；并且基于所述多个电气值来确定二端口传递函数；以及虚拟传感器模块，基于所述RF电压、所述RF电流、所述RF产生器阻抗和所述二端口传递函数来估计负载电压、负载电流和负载阻抗。
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