[发明专利]改性酚醛清漆型酚醛树脂、抗蚀材料、涂膜和抗蚀永久膜有效
| 申请号： | 201480015445.5 | 申请日： | 2014-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN105190439B | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 今田知之;鹿毛孝和 | 申请（专利权）人： | DIC株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;C08G8/28;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明提供一种显影性及耐热性优异的改性酚醛清漆型酚醛树脂、及其制造方法、感光性组合物、抗蚀材料和永久膜。改性酚醛清漆型酚醛树脂的特征在于，具有：下述结构式(1)〔式中，Ar为下述结构式(2‑1)或(2‑2)(式中k为0～2的整数，p为1～5的整数，q为1～7的整数，R3为氢原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者)所示的结构部位，R1、R2分别为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者，m、n分别为1～4的整数〕所示的芳香族化合物(A)与醛化合物(B)进行缩合而得到的酚醛清漆型酚醛树脂(C)所具有的酚性羟基的氢原子的一部分或全部被酸离解性基团取代的分子结构。 |
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| 搜索关键词： | 清漆型酚醛树脂 改性酚醛 烷基 抗蚀材料 卤素原子 芳烷基 氢原子 烷氧基 永久膜 芳基 式中 酚醛清漆型酚醛树脂 耐热性 芳香族化合物 感光性组合物 酸离解性基团 酚性羟基 分子结构 结构部位 醛化合物 显影性 抗蚀 缩合 涂膜 制造 | ||
【主权项】：
1.一种改性酚醛清漆型酚醛树脂，其特征在于，具有：下述结构式(1)所示的芳香族化合物(A)与醛化合物(B)进行缩合而得到的酚醛清漆型酚醛树脂(C)所具有的酚性羟基的氢原子的一部分或全部被酸离解性基团取代的分子结构，![]()
式中，Ar为下述结构式(2‑1)或(2‑2)所示的结构部位，R1、R2分别为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者，m、n分别为1～4的整数，![]()
式中，k为0～2的整数，p为1～5的整数，q为1～7的整数，R3为氢原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者，其中，所述酸离解性基团为叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基、三烷基甲硅烷基中任意者。
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