[发明专利]使用磁性材料在加速计上的磁强计有效
| 申请号： | 201480015707.8 | 申请日： | 2014-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN105358990B | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·席格;邱金;马修·朱利安·汤普森 | 申请（专利权）人： | 应美盛股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;安利霞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | MEMS装置包含第一质量块；第一磁化磁性材料，其部分安置在所述第一质量块的表面上；第一弹簧，其锚定在衬底上以支撑所述第一质量块；以及第一感测元件，其耦合到所述第一质量块并且可操作以感测由环境加速度引起的所述第一质量块的运动。所述MEMS装置进一步包含第二感测元件，其耦合到所述第一质量块并且可操作以感测由环境磁场引起的所述第一质量块的所述运动。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 磁性材料 加速 磁强计 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS装置，其特征在于，包括：第一质量块，其响应于沿着第一轴的环境加速度而在第一方向上移动并且响应于沿着第二轴的环境磁场而绕着第二方向旋转；第一磁化磁性材料，其部分安置在所述第一质量块的表面上；第一弹簧，其锚定至衬底以支撑所述第一质量块；第一感测元件，其耦合到所述第一质量块并且对在所述第一方向上的所述第一质量块的运动作出响应与对绕着所述第二方向的所述第一质量块的旋转运动作出响应；第二感测元件，其耦合至所述第一质量块并且对在所述第一方向上的所述第一质量块的运动作出响应且对绕着所述第二方向的所述第一质量块的旋转作出响应；以及信号处理器，其耦合到所述第一感测元件和所述第二感测元件并且可操作以产生对沿着所述第二轴的所述环境磁场作出响应的第一输出。
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