[发明专利]具有薄导电元件的化学设备有效
申请号: | 201480016057.9 | 申请日: | 2014-03-05 |
公开(公告)号: | CN105051525B | 公开(公告)日: | 2019-07-26 |
发明(设计)人: | K.费夫;J.欧文斯;S.李;J.巴斯蒂洛 | 申请(专利权)人: | 生命科技公司 |
主分类号: | G01N27/414 | 分类号: | G01N27/414 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 赵华伟;谭祐祥 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 在一个实施方式中,描述了化学设备。传感器包括化学灵敏的场效应晶体管,其包括具有多个彼此电耦联的浮栅导体的浮栅结构。导电元件叠加并且与多个浮栅导体中的最上浮栅导体通信。导电元件比最上浮栅导体更宽和更薄。电介质材料限定延伸至导电元件的上表面的开孔。 | ||
搜索关键词: | 具有 导电 元件 化学 设备 | ||
【主权项】:
1.化学设备,其包括:化学灵敏的场效应晶体管,其包括包含彼此电耦联的多个浮栅导体的浮栅结构;导电元件,其与所述多个浮栅导体中的最上浮栅导体叠加和通信,所述导电元件比所述最上浮栅导体更宽和更薄;和第一电介质材料层,其限定延伸至所述导电元件的上表面的开孔;第二电介质材料层,其设置在所述最上浮栅导体的上表面与所述导电元件的底表面之间,其中,所述第二电介质材料层包括通孔,所述通孔填满导电材料,用于在所述导电元件与所述最上浮栅导体之间通信;其中,所述导电元件的上表面限定所述化学设备的反应区域的底部表面,并且所述反应区域的底部表面比所述最上浮栅导体宽。
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