[发明专利]具有薄导电元件的化学设备有效

专利信息
申请号: 201480016057.9 申请日: 2014-03-05
公开(公告)号: CN105051525B 公开(公告)日: 2019-07-26
发明(设计)人: K.费夫;J.欧文斯;S.李;J.巴斯蒂洛 申请(专利权)人: 生命科技公司
主分类号: G01N27/414 分类号: G01N27/414
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 赵华伟;谭祐祥
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 在一个实施方式中,描述了化学设备。传感器包括化学灵敏的场效应晶体管,其包括具有多个彼此电耦联的浮栅导体的浮栅结构。导电元件叠加并且与多个浮栅导体中的最上浮栅导体通信。导电元件比最上浮栅导体更宽和更薄。电介质材料限定延伸至导电元件的上表面的开孔。
搜索关键词: 具有 导电 元件 化学 设备
【主权项】:
1.化学设备,其包括:化学灵敏的场效应晶体管,其包括包含彼此电耦联的多个浮栅导体的浮栅结构;导电元件,其与所述多个浮栅导体中的最上浮栅导体叠加和通信,所述导电元件比所述最上浮栅导体更宽和更薄;和第一电介质材料层,其限定延伸至所述导电元件的上表面的开孔;第二电介质材料层,其设置在所述最上浮栅导体的上表面与所述导电元件的底表面之间,其中,所述第二电介质材料层包括通孔,所述通孔填满导电材料,用于在所述导电元件与所述最上浮栅导体之间通信;其中,所述导电元件的上表面限定所述化学设备的反应区域的底部表面,并且所述反应区域的底部表面比所述最上浮栅导体宽。
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