[发明专利]消泡剂、表面活性剂组合物、涂层组合物和抗蚀剂组合物有效
申请号: | 201480017244.9 | 申请日: | 2014-03-18 |
公开(公告)号: | CN105050681B | 公开(公告)日: | 2017-12-05 |
发明(设计)人: | 清水良平;滨野弘行;高野启 | 申请(专利权)人: | DIC株式会社 |
主分类号: | B01D19/04 | 分类号: | B01D19/04;G03F7/004;C07C323/54;C09D7/12;C09D201/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人: | 刘新宇,李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的目的在于,提供不对表面平滑性带来恶劣影响而能够极大地改善其消泡性的消泡剂、包含消泡剂的表面活性剂组合物、涂层组合物以及抗蚀剂组合物;提供特征在于使1摩尔的1分子中具有k个(此处,k为2以上。)(甲基)丙烯酰基的化合物(a1)与2~k摩尔的具有氟代烷基和活性氢的化合物(a2)进行迈克尔加成而得到的消泡剂、包含该消泡剂和氟系表面活性剂的表面活性剂组合物、包含该消泡剂和氟系表面活性剂的涂层组合物、包含该消泡剂和氟系表面活性剂的抗蚀剂组合物。 | ||
搜索关键词: | 消泡剂 表面活性剂 组合 涂层 抗蚀剂 | ||
【主权项】:
一种通过使1摩尔的1分子中具有k个(甲基)丙烯酰基的化合物(a1)与2~k摩尔的具有全氟烷基和活性氢的化合物(a2)进行迈克尔加成而得到的化合物用作消泡剂的用途,此处,k为2以上。
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