[发明专利]叠层膜的制造方法、叠层膜以及使用该叠层膜的半导体装置的制造方法有效
| 申请号： | 201480017966.4 | 申请日： | 2014-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN105073931B | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 林下英司 | 申请（专利权）人： | 三井化学东赛璐株式会社 |
| 主分类号： | C09J7/02 | 分类号： | C09J7/02;H01L21/301 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 金鲜英,涂琪顺 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种精度良好地预切割加工成规定形状的叠层膜的制造方法，所述叠层膜具有长条状脱模膜，及设置于其上且包含沿着长度方向而相互邻接的岛状粘着膜A和岛状粘着膜B的多个岛状粘着膜，所述制造方法包括获得具有脱模膜与粘着膜的长条状叠层体的工序；将该叠层体的粘着膜预切割而获得第一剥离部的工序；将第一剥离部从脱模膜剥离的工序；第一剥离部包含岛状粘着膜A的脱模膜的宽度方向一端侧的周缘部A1、岛状粘着膜B的脱模膜的宽度方向另一端侧的周缘部B2、及将周缘部A1与周缘部B2连接的连接部C，且不含岛状粘着膜A的脱模膜的宽度方向另一端侧的周缘部A2与岛状粘着膜B的脱模膜的宽度方向一端侧的周缘部B1。 | ||
| 搜索关键词： | 叠层膜 制造 方法 以及 使用 半导体 装置 | ||
【主权项】：
一种叠层膜的制造方法，所述叠层膜具有：长条状脱模膜，及设置于所述脱模膜上且包含沿着长度方向而相互邻接的岛状粘着膜A与岛状粘着膜B的多个岛状粘着膜，所述叠层膜的制造方法包括：获得具有所述长条状脱模膜与长条状粘着膜的长条状叠层体的工序；将所述叠层体所包含的粘着膜预切割，而获得由切口线包围的第一剥离部的工序；将所述第一剥离部从所述脱模膜剥离的工序；将所述叠层体所包含的粘着膜预切割，而获得由切口线包围的第二剥离部的工序；以及将所述第二剥离部从所述脱模膜剥离的工序；关于所述第一剥离部，包含所述岛状粘着膜A的所述脱模膜的宽度方向一端侧的周缘部A1、所述岛状粘着膜B的所述脱模膜的宽度方向另一端侧的周缘部B2、以及将所述周缘部A1与所述周缘部B2连接的连接部C，且不含所述岛状粘着膜A的所述脱模膜的宽度方向另一端侧的周缘部A2与所述岛状粘着膜B的所述脱模膜的宽度方向一端侧的周缘部B1；且所述第二剥离部设置于所述第一剥离部的所述脱模膜的宽度方向另一端侧，且包含：所述岛状粘着膜A的所述脱模膜的宽度方向另一端侧的周缘部A2、与所述岛状粘着膜B的所述脱模膜的宽度方向另一端侧的周缘部B2的外侧邻接而设置的外周部B2’、以及将所述周缘部A2与所述外周部B2’连接的连接部C2。
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