[发明专利]电子显微镜和试样观察方法有效
| 申请号： | 201480018726.6 | 申请日： | 2014-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN105103263B | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 长冲功;大八木敏行;松本弘昭;仲野靖孝;佐藤岳志;长久保康平 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/16;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 范胜杰,曹鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 具备二次电子检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样(70)而发生的电子；监视器，其根据该检测器的输出，显示试样的二次电子像；气体导入装置(60)，其用于向试样(70)放出气体；以及气体控制装置(81)，其控制气体导入装置(60)的气体放出量，使得在该气体导入装置(60)的气体放出时，将设置了二次电子检测器的中间室内的真空度保持为不足设定值P1。由此，能够利用需要施加电压的检测器得到被置于气体环境中的试样的显微镜像。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 试样 观察 方法 | ||
【主权项】：
一种电子显微镜，其特征在于，具备：检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样而发生的电子；显示装置，其根据该检测器的输出，显示所述试样的显微镜像；气体导入装置，其用于向所述试样放出气体；以及气体控制装置，其控制所述气体导入装置的气体放出量，使得在该气体导入装置的气体放出过程中，将设置了所述检测器的空间内的真空度持续保持为不足设定值，设置了所述检测器的空间与设置了所述试样的空间通过电子显微镜的物镜的上磁极进行划分，并且经由独立的路径连接同一真空泵。
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