[发明专利]带电粒子束装置以及过滤部件有效
| 申请号： | 201480019441.4 | 申请日： | 2014-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN105103262B | 公开（公告）日： | 2017-10-10 |
| 发明（设计）人： | 河西晋佐;大南佑介;安岛雅彦;铃木宏征 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/16 | 分类号： | H01J37/16;H01J37/18 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 张敬强,严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的特征是在配置于非真空下的试料(6)与一次电子光学系统之间设有隔膜(10)的扫描电子显微镜中，具备过滤部件(200)，该过滤部件(200)至少在一次带电粒子束照射于试料的状态下配置在一次带电粒子束的路径上，使一次带电粒子束以及从试料得到的二次带电粒子透射或者通过，并且在隔膜破损了的情况下对飞散的飞散物的至少一部分进行遮蔽。由此，当在试料观察过程中隔膜损伤了的情况下，能够利用简单的结构没有时滞地防止因试料被吸入带电粒子光学镜筒内而产生的带电粒子光学系统、检测器的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 以及 过滤 部件 | ||
【主权项】：
一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：带电粒子光学镜筒，其向试料上照射一次带电粒子束；箱体，其构成该带电粒子束装置的一部分，并利用真空泵对其内部进行真空排气；隔膜，其能够维持上述真空排气了的箱体的内部的气密状态，而且使上述一次带电粒子束透射或者通过；以及过滤部件，其至少在上述一次带电粒子束照射于上述试料的状态下配置在该一次带电粒子束的路径上，使上述一次带电粒子束以及从上述试料得到的二次带电粒子透射或者通过，而且在上述隔膜破损了的情况下对飞散的飞散物的至少一部分进行遮蔽，上述过滤部件具有：使上述一次带电粒子束透射或者通过的开口部；以及形成于上述开口部的周边的网状部件。
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