[发明专利]处理装置以及处理装置中的工件的温度计测方法有效
| 申请号： | 201480019564.8 | 申请日： | 2014-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN105102672B | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 藤井博文 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C16/44;G01K5/50 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 李婷 |
| 地址： | 日本兵库*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够准确地计测被收容在腔室的内部并被加热的工件的实际温度的处理装置(1)以及方法。处理装置(1)具备收容工件(W)的腔室(2)、被设置在腔室(2)的内部的测量件(6)以及计测部(8)。测量件(6)在腔室(2)的内部的温度的影响下热伸缩。计测部(8)通过计测测量件(6)的热伸缩量来计测工件(W)的实际温度。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 以及 中的 工件 温度计 方法 | ||
【主权项】：
一种处理装置，用于对工件进行改性处理，其特征在于包括：腔室，用于收容所述工件；测量件，被设置在所述腔室的内部中与所述工件不同的位置，并在所述腔室的内部的温度的影响下热伸缩；以及计测部，通过计测所述测量件的热伸缩量、并使用改性处理前的所述测量件的温度、计测的所述测量件的热伸缩量、所述测量件的线膨胀系数，来计算所述工件的实际温度，所述测量件呈沿特定的长度方向延伸的棒状，在所述长度方向中具有一端和另一端，所述计测部基于所述测量件的沿所述长度方向的热伸缩量，计测所述工件的实际温度，具有激光移位计，该激光移位计为了计测所述另一端相对于所述一端的所述长度方向上的相对移位，对所述测量件的另一端照射测量用的激光。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社神户制钢所，未经株式会社神户制钢所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480019564.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于在非工业环境中生产无纺产品的设备
- 下一篇：具有优化使用特性的溅射靶
- 同类专利
- 专利分类
