[发明专利]先进热补偿表面声波器件及其制造方法有效
| 申请号： | 201480020179.5 | 申请日： | 2014-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN105308860B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | C·辛克;E·德博内 | 申请（专利权）人： | SOITEC公司 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及表面声波器件(20)的制造方法，所述方法包括下列步骤：(a)提供压电结构(200)；(b)提供介电结构，其中步骤(b)包括将介电结构(220、221)金属化(S22)的步骤(b1)，并且所述方法进一步包括下述步骤：(c)将金属化的介电结构(231)键合(S24)至压电结构(200)。 | ||
| 搜索关键词： | 介电结构 表面声波器件 压电结构 金属化 热补偿 键合 制造 | ||
【主权项】：
1.一种表面声波器件(20、30)的制造方法，所述方法包括下述步骤：(a)提供压电结构(200、300)；(b)提供介电结构(260、360)；其特征在于，步骤(b)包括将介电结构金属化(S22、S32)的步骤(b1)，以形成金属化的介电结构(231、331)，并且所述方法进一步包括下述步骤：(c)将金属化的介电结构(231、331)键合(S24、S34)至压电结构。
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