[发明专利]固定研磨粒线锯用水溶性切削液、使用其的铸锭的切削方法及由其所得的电子材料用基板

摘要

本发明提供一种起泡少、切削性能高的固定研磨粒线锯用水溶性切削液、使用其的铸锭的切削方法及由其所得的电子材料用基板。一种固定研磨粒线锯用水溶性切削液，其含有化学式(1)表示的(a)2,4,7,9‑四甲基‑5‑癸炔‑4,7‑二醇的伸烷基加成物。又，一种铸锭的切削方法及由上述切削方法所得的电子材料用基板，上述铸锭的切削方法，是使用上述固定研磨粒线锯用水溶性切削液，通过固定研磨粒线锯切削铸锭而获得作为电子材料基板的晶圆。

主权项

一种固定研磨粒线锯用水溶性切削液，含有下述化学式(1)表示的(a)2,4,7,9‑四甲基‑5‑癸炔‑4,7‑二醇的伸烷基加成物，[化学式1]其中，R表示分别相同或不同的碳数1～4的伸烷基，m1+m2+n1+n2表示伸烷基加成物的总加成摩尔数，为1以上的整数。