[发明专利]用于太阳能电池的直列式扩散方法在审
| 申请号： | 201480020592.1 | 申请日： | 2014-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN105247659A | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | P·J·里克特;F·博塔里 | 申请（专利权）人： | BTU国际公司 |
| 主分类号： | H01L21/22 | 分类号： | H01L21/22 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;王英 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了用于在单阶段工艺中同时在太阳能电池晶片的相应面上扩散不同类型的掺杂剂的方法。优选地通过移印将掺杂剂以湿化学形式施加到晶片的相应面。掺杂材料可以被施加到整个晶片表面或其有效区域，或可以被施加成图案以适合所预期的太阳能构造。在典型实施例中，掺杂剂是硼和磷。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 太阳能电池 直列式 扩散 方法 | ||
【主权项】：
一种在硅晶片的相应面上同时扩散不同类型的掺杂剂的方法，包括以下步骤：将第一液体掺杂材料施加到所述晶片的第一面；将第二液体掺杂材料施加到所述晶片的第二面；以及加热所述晶片以使所述第一掺杂剂和所述第二掺杂剂同时扩散到所述晶片的相应面中。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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