[发明专利]传感器芯片的制造方法和计算机断层探测器

摘要

本发明涉及传感器芯片，特别是用于计算机断层探测器的传感器芯片，其具有被电气连接到辐射检测元件(9)的模数转换器(10)。本发明所解决的问题是限定了尽可能成本高效和可靠的传感器芯片。根据本发明，该问题通过仅使用在其上施加传感器芯片的所有所需的部件(7、9、10)的一个单晶基板(1)而得以解决，其中在导体路径(14、15)之间或者基板的两侧(12、13)的触点之间的过孔触点(6)被用作适用以将两侧(12、13)的部件(7、9、10)连接到彼此。

主权项

1.一种传感器芯片，具有被电气连接到辐射检测元件(9)的模数转换器(10)以及晶体基板(1)，其中所述辐射检测元件(9)的部件以及所述模数转换器(10)的部件被光刻地集成在所述晶体基板(1)的一个探测器侧(12)上，其中所述模数转换器(10)经由所述晶体基板(1)的过孔触点(6)被电气连接到所述晶体基板(1)的与所述探测器侧(12)相反的第二侧(13)上的电气连接元件(7)。