[发明专利]含Au碘系蚀刻液的处理方法以及处理装置有效
| 申请号： | 201480021400.9 | 申请日： | 2014-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN105164317B | 公开（公告）日： | 2016-11-02 |
| 发明（设计）人： | 古坚千绘;小久保広宣 | 申请（专利权）人： | 朝日浦力环境科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C25C1/00;C25C1/20 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 刘兵;严政 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够以高回收率从使用完的碘系蚀刻液中回收Au，并且恢复碘(I3‑)浓度，实现蚀刻能力的再生的技术。该方法为通过电解回收含Au碘系蚀刻液中的Au，并且恢复碘(I3‑)浓度的蚀刻液的处理方法，其中，所述电解在将阴极电位维持在‑0.7V以上(基准电位为参照电极Ag/AgCl时)、以及将阳极电位维持在+1.0V以下(基准电位为参照电极Ag/AgCl时)下进行。 | ||
| 搜索关键词： | au 蚀刻 处理 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
一种含Au碘系蚀刻液的处理方法，该方法为通过电解回收含Au碘系蚀刻液中的Au，并且恢复碘I3‑浓度的蚀刻液的处理方法，其特征在于，所述电解在将阴极电位维持在‑0.7V以上、以及将阳极电位维持在+1.0V以下的条件下进行，该阴极电位和阳极电位的基准电位为参照电极Ag/AgCl。
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