[发明专利]用于处理工件的机组

摘要

本发明涉及一种用于处理工件(28)的机组(10)。在机组(10)中，存在有至少一个用于以流体处理定位在处理位置(52、56)中的工件(28)的处理站(50、54)。机组(10)具有用于工件(28)的操作装置(16)，通过该操作装置可以接收在工件供给部(12)上提供的工件(28)并且将其运动到至少一个处理站(50、56)中的处理位置(52、56)中。操作装置(16)具有基座(18)，并且具有铰接在基座(18)上且能在基座(18)上围绕第一枢转轴线(30)运动的承载臂(20)。

主权项

一种用于在过程腔中处理工件(28)的机组(10)，所述机组具有构造在所述过程腔(14)中的用于以液体流体处理定位在第一处理位置中的工件(28)的第一处理站(50)，并且具有布置在所述过程腔中的用于工件(28)的操作装置(16)，其特征在于，所述过程腔(14)是流体密封的，并且具有能流体密封地封闭的开口(62)，并且所述操作装置(16)具有在所述过程腔(14)中固定的或者在所述过程腔(14)中以能直线运动的方式布置的基座(18)，并且具有铰接在所述基座(18)上、能围绕第一水平枢转轴线(30)运动的承载臂(20)，所述承载臂带有铰接在所述承载臂(20)上的、能围绕另一水平枢转轴线(32)枢转运动的枢转臂(22)，在所述枢转臂上构造出带有工件保持架(26)的接收部(24)，以穿过所述能流体密封地封闭的开口(62)将在布置于所述过程腔(14)之外的工件供给部(12)上提供的工件(28)接收到所述过程腔(14)中，通过所述操作装置能够将在工件供给部(12)上提供的工件(28)在所述过程腔(14)中运动到第一处理站(50)中的第一处理位置中。