[发明专利]具有含有最小串扰的热隔绝区的静电夹盘

摘要

基板支撑组件包括陶瓷定位盘与导热基底，该导热基底具有与陶瓷定位盘的下表面接合的上表面。该导热基底包括数个热区与数个热隔离器，该数个热隔离器从导热基底的上表面朝向导热基底的下表面延伸，其中该数个热隔离器中的每一个提供导热基底的上表面处的数个热区中的两个之间的近似热隔离。

主权项

1.一种基板支撑组件，包括：陶瓷定位盘；以及导热基底，所述导热基底具有与所述陶瓷定位盘的下表面接合的上表面，其中所述导热基底包括：数个热区；以及数个热隔离器，所述数个热隔离器从所述导热基底的上表面朝向所述导热基底的下表面延伸，其中所述数个热隔离器中的每一个提供在所述导热基底的上表面处的所述数个热区中的两个热区之间的热隔离，并且其中所述数个热隔离器中的从所述导热基底的所述上表面朝向所述下表面延伸的至少一个热隔离器具有为所述导热基底的总厚度的60％‑90％的深度。