[发明专利]用于形成切割膜粘合层的组合物及切割膜有效
申请号: | 201480022020.7 | 申请日: | 2014-12-12 |
公开(公告)号: | CN105143382B | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 金荣国;金熹正;S·R·金;曹正镐;金丁鹤;南承希;李光珠 | 申请(专利权)人: | 株式会社LG化学 |
主分类号: | C09J11/08 | 分类号: | C09J11/08;C09J11/06;C09J133/04;C09J7/30;H01L21/58 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 顾晋伟 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于形成切割膜粘合层的组合物、一种包括含有所述组合物的粘合层的切割膜、一种包括切割膜的切割晶片键合膜以及一种使用切割晶片键合膜切割半导体晶片的方法,所述组合物包含:聚合物添加剂、粘结粘合剂和光引发剂,所述聚合物添加剂包括一种或多种选自如下的聚合物:含有(甲基)丙烯酸酯基官能团和非极性官能团的聚合物、含有至少一个氟的(甲基)丙烯酸酯基聚合物和含有反应性官能团的硅改性的(甲基)丙烯酸酯基聚合物,其中聚合物添加剂与粘结粘合剂的重量比为0.01%至4.5%。 | ||
搜索关键词: | 用于 形成 切割 粘合 组合 | ||
【主权项】:
1.一种用于形成切割膜粘合层的组合物,所述组合物包含:聚合物添加剂,其包含至少一种选自如下的聚合物:含有(甲基)丙烯酸酯基官能团和非极性官能团的聚合物、含有至少一个氟的(甲基)丙烯酸酯基聚合物和含有反应性官能团的硅改性的(甲基)丙烯酸酯基聚合物;粘结粘合剂;和光引发剂,其中,所述粘结粘合剂为添加有1重量%至45重量%的(甲基)丙烯酸酯官能团作为连接至(甲基)丙烯酸酯基树脂主链的侧链的聚合物树脂,聚合物添加剂与粘结粘合剂的重量比为0.01%至4.5%,并且含有(甲基)丙烯酸酯基官能团和非极性官能团的聚合物以及含有反应性官能团的硅改性的(甲基)丙烯酸酯基聚合物的酸值分别为10mg KOH/g至50mg KOH/g,基于1重量%至50重量%的有机溶液计。
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