[发明专利]用于制备八氯三硅烷的方法和装置有效
| 申请号： | 201480023100.4 | 申请日： | 2014-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN105121341B | 公开（公告）日： | 2018-01-02 |
| 发明（设计）人： | J.E.朗;H.劳莱德;E.米;I.穆萨莱姆 | 申请（专利权）人： | 赢创德固赛有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C01B33/107;B01J19/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 邵长准,石克虎 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及通过对氯代硅烷施以热等离子体而由单体氯代硅烷有针对性地制备八氯三硅烷的方法和装置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 八氯三 硅烷 方法 装置 | ||
【主权项】：
通过对包含至少一种通式I的单体氯代硅烷的氯代硅烷施以热等离子体来制备八氯三硅烷的方法HxSiCl4‑x (I)其中x彼此独立地选自0、1、2或3。
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