[发明专利]有机半导体薄膜的制造方法

摘要

将使有机半导体材料溶解在溶媒中的原料溶液(6)向基板(1)上供给，通过使溶媒蒸发而使有机半导体材料的结晶析出，在基板上形成有机半导体薄膜(7)。使用在一侧面上设有接触面(2a)的端面成形部件(2)；以接触面相对于基板的表面以一定的角度交叉的方式，使端面成形部件对置配置；将原料溶液向基板上供给而形成与接触面接触的原料溶液的液滴(6a)；向作为与基板的表面平行的方向、端面成形部件从液滴远离的方向，使基板和端面成形部件相对移动，并且，一边供给原料溶液以将伴随着相对移动的液滴的大小的变动维持在规定的范围，一边使液滴中的溶媒蒸发而在接触面移动后的基板上形成有机半导体薄膜。通过使用基于液滴形成的溶媒蒸发法的简单的工序，能够制作大面积且具有较高的电荷移动度的有机半导体单结晶薄膜。

主权项

1.一种有机半导体薄膜的制造方法，将有机半导体材料溶解在溶媒中的原料溶液向基板上供给，通过使上述溶媒蒸发而使上述有机半导体材料的晶体析出，在上述基板上形成有机半导体薄膜，其特征在于，使用在一侧面上设有接触面的端面成形部件；以上述接触面相对于上述基板的表面以一定的角度交叉的方式，使上述端面成形部件相对于上述基板对置而配置，将上述原料溶液向上述基板上供给，并且，在上述原料溶液与上述基板接触的状态下，使上述原料溶液与上述接触面相接触形成上述原料溶液的液滴；在与上述基板的表面平行的方向即上述端面成形部件从上述液滴远离的朝向上，使上述基板和上述端面成形部件相对移动，并且一边供给上述原料溶液，一边使上述液滴中的上述溶媒蒸发而在上述接触面移动后的上述基板上基于上述原料溶液的供给连续地析出上述有机半导体材料的晶体，在析出上述晶体的工序中，通过将供给上述原料溶液的速度以及上述相对移动的速度与上述溶媒的蒸发速度相匹配进行调整，介由向上述接触面的附着，将上述液滴的大小维持在能够起到规定上述晶体相对上述液滴的成长方向的作用的规定范围内。