[发明专利]具有金属粘合层的气缸衬垫以及形成该气缸衬垫的方法有效
| 申请号： | 201480023253.9 | 申请日： | 2014-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN105143496B | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·鲁文·阿哈罗诺夫 | 申请（专利权）人： | 费德罗-莫格尔公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/04;C23C14/06;C23C14/35;C23C28/04;C23C28/00;F02F1/00;H01J37/00 |
| 代理公司： | 北京市君合律师事务所11517 | 代理人： | 毕长生,张奇巧 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种带涂层的气缸衬垫20包括被沉积在其内表面26上的诸如DLC涂层的耐磨损层22以及诸如铬或钛的金属粘合层24。层22，24的每一个具有沿着内表面26的长度的至少70％变化不大于5％的厚度tw，ta。该金属粘合层24通过溅射自耗金属电极28到内表面26上而沉积。该溅射可以为磁控溅射。自耗金属电极28可以包括带有孔口50的中空开口40用于提供载气到沉积腔52内。此外，气缸衬垫20的内表面26能够通过密封气缸衬垫20的第一开口36和第二开口38提供沉积腔52。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 金属 粘合 气缸 衬垫 以及 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种带涂层的气缸衬垫的制造方法，其特征在于，包括步骤：提供包括从第一本体端延伸到第二本体端的内表面的本体，所述内表面环绕中心轴线以限定孔口以及处于所述第一本体端的第一开口以及处于所述第二本体端的第二开口；将所述本体布置在沉积腔内，所述第一本体端不密封，从而所述本体的内表面暴露于所述沉积腔；在所述本体的所述孔口内布置自耗金属电极，所述自耗金属电极由金属形成；将所述第二本体端安装在绝缘支撑上，其中所述绝缘支撑被布置在所述沉积腔的表面上；以及溅射所述自耗金属电极的金属到所述本体的所述内表面上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于费德罗-莫格尔公司，未经费德罗-莫格尔公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480023253.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
