[发明专利]吸收性灯头面

摘要

在此所描述的实施方式一般涉及在热处理腔室内具有吸收性上表面的灯头组件。在一个实施方式中，处理腔室可包括：上部结构；下部结构；基座环，该基座环将该上部结构连接至该下部结构；基板支撑座，该基板支撑座设置于该上部结构与该下部结构之间；下部结构设置于基板支撑座下方；灯头定位成邻近于下部结构且一个或更多个固定电灯位置形成于该灯头内，灯头包含邻近于该下部结构的第一表面以及正对该第一表面的第二表面，其中该第一表面包含吸收性涂层；以及一个或更多个电灯组件，每一个电灯组件包含辐射产生源且定位成与一个或更多个固定电灯位置相连接。

主权项

1.一种处理腔室，包括：第一结构；第二结构；基座环，所述基座环将所述第一结构连接至所述第二结构；基板支撑座，所述基板支撑座设置于所述第一结构与所述第二结构之间；辐射源结构，所述辐射源结构被定位成邻近于所述第二结构且具有形成于所述辐射源结构内的一个或更多个辐射源位置，所述辐射源结构包含邻近于所述第二结构的第一表面，其中所述第一表面包含吸收性涂层，并且所述第二结构设置于所述辐射源结构与所述基板支撑座之间；以及一个或更多个辐射源，每一个辐射源位于所述辐射源位置之一。