[发明专利]低表面粗糙度的抛光垫有效
| 申请号： | 201480024087.4 | 申请日： | 2014-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN105163907B | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | J.奈尔 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抛光垫，其包含含有抛光表面的抛光垫体，其中该抛光体包含孔隙，且其中该抛光表面具有0.1微米至10微米的表面粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 粗糙 抛光 | ||
【主权项】：
一种抛光垫，其包含含有抛光表面的抛光垫体，其中该抛光垫体包含孔隙，且其中该抛光表面具有0.1微米至4微米的表面粗糙度，且该抛光表面包含开孔孔隙，其中该表面粗糙度是在排除该开孔孔隙的情况下测量的，且其中该抛光垫体包含热塑性聚氨酯，其中该抛光垫具有5MPa至600MPa的在30℃下的弹性储能模量。
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