[发明专利]利用微波能量固化热塑性塑料的方法在审
| 申请号： | 201480024311.X | 申请日： | 2014-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN105358610A | 公开（公告）日： | 2016-02-24 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·L·哈伯德 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C08J7/18 | 分类号： | C08J7/18;C08J5/18;C08G73/10;C08L79/08;C08J3/28 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于使热塑性塑料、尤其是聚酰亚胺致密化以用于与电子电路结合使用，同时产生改进的物理特性和高度的结晶度的方法，所述方法涉及在通常低于玻璃转变温度100℃或更低的温度持续约50至100分钟的时间的变频微波(VFM)处理。所述方法尤其适用于基于BPDA-PPD的聚合物，但是一般也可以适用于具有相同特征的其他有意设计的聚酰亚胺结构。本发明实现了涉及集成电路的分层结构的形成，所述分层结构具有较小特征尺寸以及高Tg且带有其他优良特性的聚合物外覆层。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 微波 能量 固化 塑性 塑料 方法 | ||
【主权项】：
一种用于使热塑性膜致密化的方法，所述方法包括：将所述热塑性塑料以可溶态(soluble form)沉积到所选基板上；软烘(soft baking)所述膜以去除残余溶剂；以及在不高于所述热塑性塑料的玻璃转变温度Tg以下100℃的温度，通过VFM将所述膜固化20至120分钟。
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