[发明专利]含有使用双酚醛的酚醛清漆树脂的抗蚀剂下层膜形成用组合物有效
| 申请号： | 201480025526.3 | 申请日： | 2014-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN105209974B | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 远藤贵文;桥本圭祐;西卷裕和;坂本力丸 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;C08G14/073;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 黄媛;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的课题是提供用于形成具有高干蚀刻耐性与扭曲耐性，且对高低差、凹凸部显示良好的平坦化性、埋入性的抗蚀剂下层膜的抗蚀剂下层膜形成用组合物。解决手段是一种抗蚀剂下层膜形成用组合物，包含通过包含芳香族环的有机化合物A和醛B的反应得到的树脂，所述醛B具有至少2个具有酚式羟基的芳香族碳环基，且具有该芳香族碳环基通过叔碳原子结合而成的结构。醛B为下述式(1)。Ar |
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| 搜索关键词： | 含有 使用 酚醛 清漆 树脂 抗蚀剂 下层 形成 组合 | ||
【主权项】：
一种抗蚀剂下层膜形成用组合物，包含通过包含芳香族环的有机化合物A和醛B的反应得到的树脂，所述醛B具有至少2个具有酚式羟基的芳香族碳环基，且具有该芳香族碳环基通过叔碳原子结合而成的结构。
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