[发明专利]供气装置在审
| 申请号： | 201480025607.3 | 申请日： | 2014-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN105209964A | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 黄喆周;康豪哲;梁承龙;李明振;李龙炫;郑喆羽;崔宰旭 | 申请（专利权）人： | 周星工程股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;H01L21/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种供气装置，详细地涉及能够改善工艺腔室内的工艺气体的流动并能够提高沉积层的均匀度的供气装置，本发明提供的所述供气装置包括：引线，与气体管道相连接；第一板，用于使从所述引线流入的气体向工艺腔室排出；第二板，设置于所述引线和所述第一板之间，并以分散流向下部的气体的方式设置；形成于所述第一板的多个排出孔；以及形成于所述第二板的多个排出孔，形成于所述第二板的角落部的排出孔以与形成于所述第一板的相同位置的角落部的排出孔不同状态来配置。 | ||
| 搜索关键词： | 供气 装置 | ||
【主权项】：
一种供气装置，包括：盖子，与气体管道相连接；第一板，工艺腔室工艺腔室用于将流入所述盖子的气体排出到工艺腔室；第二板，设置于所述盖子和所述第一板之间，用于分散向下流动的气体；形成于所述第一板的多个排出孔；以及形成于所述第二板的多个排出孔，其中形成于所述第二板的角落部的排出孔以不同于形成在所述第一板的角落部的排出孔的状态配置，所述第一板的角落部与所述第二板的角落部对应。
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