[发明专利]具有高生产率的离子注入机在审
| 申请号： | 201480027318.7 | 申请日： | 2014-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN105283580A | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | F·托瑞格罗萨;L·洛克斯 | 申请（专利权）人： | 离子射线服务公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/50;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 刘敏 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种离子注入机(100)，其包括：封闭室(101)，其连接于一个泵装置(102)；等离子源(115-121-122)；极化电源(113)；气体入口(117)，其布置在所述封闭室上；基材保持架(104)，其连接于该极化电源的负极，且布置在封闭室中。该离子注入机的特征在于，-基材保持架(104)至少由平行的两个板(105，106)组成；-参比电极至少由一个极片(110)组成，该参比电极连接于极化电源的正极；-该极片间置在两个板之间。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 生产率 离子 注入 | ||
【主权项】：
一种离子注入机(100)，其包括：‑封闭室(101，301，401)，其连接于一个泵装置(102，303)，‑等离子源(115‑121‑122，304‑320，330‑340，405‑406)，‑极化电源(113，327)，‑气体入口(117，302，402)，其布置在所述封闭室上，‑基材保持架(104，304)，其连接于所述极化电源的负极，且布置在所述封闭室中，其特征在于：‑所述基材保持架(104，304)至少由平行的两个板(105‑106，305‑306‑307‑308‑309)组成，‑参比电极至少由一个极片(110，321‑322‑323‑324)组成，所述参比电极连接于所述极化电源的正极，‑所述极片间置在两个板之间。
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