[发明专利]具有带具有渐变侧壁的连续突起的抛光表面的抛光垫有效
| 申请号： | 201480027574.6 | 申请日： | 2014-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN105228797B | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | P·A·勒菲弗;W·C·阿里森;A·W·辛普森;D·斯科特;P·黄;L·M·查尔恩斯;J·R·莱因哈特;R·科普里希 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所11247 | 代理人： | 殷玲,吴鹏 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了具有带具有渐变侧壁的连续突起的抛光表面的抛光垫。还描述了制作具有带具有渐变侧壁的连续突起的抛光表面的抛光垫的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 渐变 侧壁 连续 突起 抛光 表面 | ||
【主权项】：
一种用于抛光衬底的抛光垫，所述抛光垫包括：抛光主体，所述抛光主体具有与背面相对的抛光侧；和抛光表面，所述抛光表面包括与所述抛光主体的所述抛光侧连续的多个突起，每个突起包括远离抛光主体的平坦表面以及从所述平坦表面朝向抛光主体向外渐变的侧壁，其中，所述多个突起成六边形组合图案布置，以及在抛光主体的抛光侧的最外缘处围绕所述多个突起的实心环，所述实心环与抛光主体的抛光侧连续并且具有与所述多个突起的六边形组合图案的外形一致的内部形状，其中，所述多个突起的六边形组合图案被实心环内的多个槽中断。
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