[发明专利]试剂和抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201480027633.X | 申请日： | 2014-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN105308146A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 榎本智至 | 申请（专利权）人： | 东洋合成工业株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/00 | 分类号： | C09K3/00;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 路勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明描述了一种增强光酸产生剂的酸产生的试剂和含有此类试剂的组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 试剂 抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
一种试剂，其特征在于：向所述试剂提供能量或向接受所述能量的受体提供能量由所述试剂产生中间物；并且所述中间物增进酸从前驱体的产生。
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