[发明专利]具有浓缩功能的氢气传感器以及其中使用的氢气传感器探头

摘要

本发明提供一种小型、具有量产性、廉价、对氢气的选择性高、并且是高灵敏度、高精度的氢气传感器。在从基板(1)上热分离的薄膜(10)上具有加热器(25)和温度传感器(20)以及氢吸收材料(5)的氢气的浓缩部(300)与氢气传感器元件(500)设置在相同的微腔室(100)内。通过氢气传感器元件(500)，对经过加热器加热而从浓缩部(300)释出并成为高浓度化的氢气进行测量。通过使氢吸收材料(5)具有氢气的选择性，从而氢气传感器元件(500)不需要具有氢气选择性。通过在微腔室(100)的出入口设置气流限制部(250)，从而防止因外部气体的流入而引起的氢气的稀薄化。可以使用泵等导入机构(150)，以规定的周期进行被检测气体向微腔室(100)的导入。

主权项

1.一种氢气传感器，其特征在于，在将包含被检测氢气的被检测气体与腔室(100)连结的连通孔(200)中具有气流限制部(250)，该气流限制部被构造为通过使该连通孔(200)的流路变得细长从而使气体变得难以流入的结构部，或者，被构造为通过设置阀从而能堵塞该连通孔(200)的结构部，在所述腔室(100)内具有氢气的浓缩部(300)与氢气传感器元件(500)，上述腔室(100)为一个，在该浓缩部(300)中具有氢吸收材料(5)和加热器(25)以及温度传感器(20)，该氢气传感器具有用于将被检测气体导入至所述腔室(100)内的具有抽吸泵的导入机构(150)，该被检测气体通过该气流限制部难以进入上述腔室内且不易泄露到腔室外，利用该导入机构(150)将被检测气体导入至所述腔室(100)内，使氢吸收于所述浓缩部(300)，其后，利用所述加热器(25)将吸收于所述浓缩部(300)的氢气加热而释出于所述腔室(100)内，提高腔室(100)内的氢气浓度，能利用所述气流限制部(250)将该腔室(100)内的氢气浓度进行浓缩，利用所述氢气传感器元件(500)来输出与腔室(100)内的浓缩了的氢气浓度相关的信息，基于预先准备的校正数据，来求出被检测气体中的氢气浓度。