[发明专利]流体分析装置及方法、热式流量计、质量流量控制器、流体性质确定装置

摘要

本发明提供流体分析装置及方法、热式流量计、质量流量控制器、流体性质确定装置。根据作为与测量对象的流体的流量变化时的上游侧电压的变化率相关的值的上游侧参数和作为与所述测量对象的流体的流量变化时的下游侧电压的变化率相关的值的下游侧参数，计算表示与流体的热导率对应的固有的值的流体固有值。

主权项

1.一种流体分析装置，其特征在于包括：流道，测量对象的流体在所述流道中流动；上游侧电阻元件，设置在所述流道的上游侧；下游侧电阻元件，设置在所述流道的下游侧；以及流体固有值计算部，根据上游侧参数和下游侧参数计算流体固有值，所述流体固有值表示与流体的热导率对应的固有值，所述上游侧参数是与所述测量对象的流体的流量变化时的上游侧电压的变化率相关的值，所述上游侧电压是为了使所述上游侧电阻元件发热而施加的电压，所述下游侧参数是与所述测量对象的流体的流量变化时的下游侧电压的变化率相关的值，所述下游侧电压是为了使所述下游侧电阻元件发热而施加的电压。