[发明专利]用于改善边缘一致性的腔室气体扩散器孔设计

摘要

在一个实施例中，用于沉积腔室的扩散器包括板和多个气体通道，所述板具有数个边缘区域、数个角落区域和中央区域，所述多个气体通道包括孔洞，所述多个气体通道形成在所述板的上游侧与下游侧之间，其中，在所述板的角落区域或边缘区域中的一个或多个中的孔洞的长度或直径中的一项或多项与在所述板的中央区域中的孔洞的对应长度或对应直径不同。

主权项

一种用于沉积腔室的扩散器，所述扩散器包括：板，所述板具有数个边缘区域、数个角落区域；以及多个气体通道，所述多个气体通道形成在所述板的上游侧与下游侧之间，其中，所述边缘区域和所述角落区域中的一者或两者中的所述多个气体通道的部分包括第一孔洞和第二孔洞，所述第一孔洞具有第一直径，所述第二孔洞具有第二直径，并且其余的多个孔洞包括第三直径，所述第一直径大于所述第二直径，并且大于所述第三直径。